微机械压力传感器原理和技术

书籍简介:

本书详细介绍了微机械压力传感器的研究发展历史、力学基础、常用材料及相关的微机械加工技术，并重点介绍了微机械压阻传感器、微机械电容传感器、微机械压电传感器、光学传感器及其应用，以及微机械压力传感器的关键技术——封装技术等。可供相关的科研人员和工程技术人员参考。

书籍规格:

书籍信息归属:

微机械压力传感器原理和技术是郑州大学出版社于2017.12出版的中图分类号为 TP212.1 的主题关于 机械－压力传感器 的书籍。