MEMS可靠性

书籍简介:

本书是关于MEMS可靠性的一本专著，主要内容包括：用于寿命预测的可靠性统计理论，MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式，MEMS在使用中的失效模式，MEMS的失效根源及分析，MEMS的试验和鉴定标准，以及提升MEMS可靠性的工具和技术。本书的几位作者在MEMS可靠性方面拥有多年的学术研究经验和工业生产经验，内容具有较高的参考价值。

书籍规格:

书籍信息归属:

MEMS可靠性是电子工业出版社于2012.11出版的中图分类号为 TN4 的主题关于 微电子技术－可靠性－高等学校－教材 的书籍。