微细加工技术

书籍简介:

本书介绍了微细加工技术的基础知识、光学曝光技术、光学分辨率增强技术等以及其他纳米加工技术。

书籍规格:

书籍信息归属:

微细加工技术是化学工业出版社于2004.08出版的中图分类号为 TG66 的主题关于 特种加工－技术 的书籍。